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Mass Flow Controller/매스플로우 컨트롤러

원산지
Korea
판매가
1,916,570 [3-6946-01]
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주요특징
[특징]
열식 유량 센서에 의해, 온도 보정 회로 없음으로 높은 유량 정도입니다.
스타트시의 플로우 서지 현상을 억제합니다(30초 이상의 인터벌이 필요). [사양]
유량 정확도 : ± 2 % FS (정밀도 보증 범위 15 ~ 35 ℃)
재현성 : ± 0.2 % FS
유량 제어 범위 : 5 ~ 100 % FS
유체 : 기체
사용 온도 : 5 ~ 50 ℃ 85 % RH 이하
응답 성 : 6sec
동작 압력 범위 : 50 ~ 300kPa
내압 : 1MPa (G)
외부 누설 속도 : 1 × 10-7Pa · m 3 / sec (He) 이하
가스 접촉부 재질 : SUS316 · PTFE 불소 고무
표면 처리 : 가공 마무리
부속품 : 1 / 4in.SWL 상당
입출력 : 아날로그 신호 (0 ~ 5VDC)
밸브 형식 : N / O 노멀 오픈
구동 전원 : + 15VDC ± 5 % 60mA, -15VDC ± 5 % 150mA
통신 방식 : 아날로그 0 ~ 5VDC (D-Sub9Pin 커넥터)
사이즈 : 160 × 33.6 × 105mm
품목코드 품목명 단위 판매가(VAT 별도) 수량선택
3-6946-01 유량(SLM):10 / 가스:Air EA
소비자가 : 1,932,540
1932540∏‡0
3-6946-02 유량(SLM):10 / 가스:N2 EA
소비자가 : 1,932,540
1932540∏‡2
3-6946-03 유량(SLM):10 / 가스:Ar EA
소비자가 : 1,932,540
1932540∏‡1637750
3-6946-04 유량(SLM):10 / 가스:He EA
소비자가 : 1,916,570
1916570∏‡1624210
3-6946-05 유량(SLM):10 / 가스:H2 EA
소비자가 : 1,932,540
1932540∏‡1637750
3-6947-01 유량(SLM):20 / 가스:Air EA
소비자가 : 1,932,540
1932540∏‡0
3-6947-02 유량(SLM):20 / 가스:N2 EA
소비자가 : 1,932,540
1932540∏‡2
3-6947-03 유량(SLM):20 / 가스:Ar EA
소비자가 : 1,932,540
1932540∏‡1637750
3-6947-04 유량(SLM):20 / 가스:He EA
소비자가 : 1,916,570
1916570∏‡1624210
3-6947-05 유량(SLM):20 / 가스:H2 EA
소비자가 : 1,932,540
1932540∏‡1637750
3-8034-01 유량(SLM):30 / 가스:Air EA
소비자가 : 2,124,200
2124200∏‡0
3-8034-02 유량(SLM):30 / 가스:N2 EA
소비자가 : 2,124,200
2124200∏‡2
3-8034-03 유량(SLM):30 / 가스:Ar EA
소비자가 : 2,124,200
2124200∏‡1800170
3-8034-04 유량(SLM):30 / 가스:He EA
소비자가 : 2,108,220
2108220∏‡1786630
3-8034-05 유량(SLM):30 / 가스:H2 EA
소비자가 : 2,124,200
2124200∏‡1800170
3-8035-01 유량(SLM):50 / 가스:Air EA
소비자가 : 2,204,050
2204050∏‡0
3-8035-02 유량(SLM):50 / 가스:N2 EA
소비자가 : 2,204,050
2204050∏‡2
3-8035-03 유량(SLM):50 / 가스:Ar EA
소비자가 : 2,204,050
2204050∏‡1867840
3-8035-04 유량(SLM):50 / 가스:He EA
소비자가 : 2,188,080
2188080∏‡1854310
3-8035-05 유량(SLM):50 / 가스:H2 EA
소비자가 : 2,204,050
2204050∏‡1867840

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