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Mass Flow Controller/매스플로우 컨트롤러

원산지
Korea
판매가
166,100 [3-5064-01]
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주요특징
[특징]
열식 유량센서는 외부온도 영향을 잘 받지 않습니다.
스타트 시의 플로 서지 현상을 억제합니다. [사양]
유량 정밀도 : ±2%FS(정도보증 범위 15~35℃)
응답성 : 6sec
유량제어범위 : 5~100%FS : 
입출력 : 아날로그신호(0~5VDC)
펄스 형식 : N/O 노말 오픈
재현성 : ±0.2%FS
동작압력범위 : 50~300kPa
내압 : 1MPa(G)
외부 리크레이트 : 1x10-7Pa·㎥/sec(He)이하
가스 접촉부 재질 : SUS316, PTFE, 불소고무
접속 : 1/4in, SWL상당
전원 : +15VDC±5% 60mA, -15VDC±5% 150mA
통신방식 : 아날로그 0~5VDC(D-Sub 9Pin 커넥터)
사이즈 : 127x25.5x100mm
품목코드 품목명 단위 판매가(VAT 별도) 수량선택
3-5064-01 전유량-가스 종류:10SCCM-Air EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5064-02 전유량-가스 종류:10SCCM-N2 EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5064-03 전유량-가스 종류:10SCCM-Ar EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5064-04 전유량-가스 종류:10SCCM-He EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5064-05 전유량-가스 종류:10SCCM-H2 EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5065-01 전유량-가스 종류:20SCCM-Air EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5065-02 전유량-가스 종류:20SCCM-N2 EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5065-03 전유량-가스 종류:20SCCM-Ar EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5065-04 전유량-가스 종류:20SCCM-He EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5065-05 전유량-가스 종류:20SCCM-H2 EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5066-01 전유량-가스 종류:50SCCM-Air EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5066-02 전유량-가스 종류:50SCCM-N2 EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5066-03 전유량-가스 종류:50SCCM-Ar EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5066-04 전유량-가스 종류:50SCCM-He EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5066-05 전유량-가스 종류:50SCCM-H2 EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5067-01 전유량-가스 종류:100SCCM-Air EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5067-02 전유량-가스 종류:100SCCM-N2 EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5067-03 전유량-가스 종류:100SCCM-Ar EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5067-04 전유량-가스 종류:100SCCM-He EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5067-05 전유량-가스 종류:100SCCM-H2 EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5068-01 전유량-가스 종류:200SCCM-Air EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5068-02 전유량-가스 종류:200SCCM-Air EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5068-03 전유량-가스 종류:200SCCM-Air EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5068-04 전유량-가스 종류:200SCCM-Air EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5068-05 전유량-가스 종류:200SCCM-Air EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5069-01 전유량-가스 종류:500SCCM-Air EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5069-02 전유량-가스 종류:500SCCM-N2 EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5069-03 전유량-가스 종류:500SCCM-Ar EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5069-04 전유량-가스 종류:500SCCM-He EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5069-05 전유량-가스 종류:500SCCM-H2 EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5070-01 전유량-가스 종류:1SLM-Air EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5070-02 전유량-가스 종류:1SLM-N2 EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5070-03 전유량-가스 종류:1SLM-Ar EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5070-04 전유량-가스 종류:1SLM-He EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5070-05 전유량-가스 종류:1SLM-H2 EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5071-01 전유량-가스 종류:2SLM-Air EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5071-02 전유량-가스 종류:2SLM-N2 EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5071-03 전유량-가스 종류:2SLM-Ar EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5071-04 전유량-가스 종류:2SLM-He EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5071-05 전유량-가스 종류:2SLM-H2 EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5072-01 전유량-가스 종류:5SLM-Air EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5072-02 전유량-가스 종류:5SLM-N2 EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5072-03 전유량-가스 종류:5SLM-Ar EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5072-04 전유량-가스 종류:5SLM-He EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5072-05 전유량-가스 종류:5SLM-H2 EA
소비자가 : 1,661,030
1661030∏‡1407650
3-5064-11 품명 : 표시 설정 부속 제어 전원 (설치형) EA
소비자가 : 1,154,740
1154740∏‡978600
3-5064-12 품명 : 표시 설정 부속 제어 전원 EA
소비자가 : 1,154,740
1154740∏‡978600
3-5064-13 내용 : 신호 케이블 EA
소비자가 : 166,100
166100∏‡140760

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